금속 조직 분석(EDS)용 X선 에너지 분광계란 무엇입니까?

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EDS 에너지 분광계는 물질 원소를 분석하기 위한 장비로 주사전자현미경이나 투과전자현미경과 결합되는 경우가 많습니다. 진공 챔버에서 전자빔을 샘플 표면에 충격을 가하여 재료를 여기시켜 특성 X선을 방출합니다. 특성X선의 파장에 따라 원소주기율표의 BU원소를 정성적, 반정량적으로 분석할 수 있습니다. EDS는 샘플 표면의 구성 요소에 대한 미시적 정성 또는 반정량 분석과 특정 영역의 포인트, 라인 스캔 및 매핑 분석을 제공할 수 있습니다.

데이터 분석 시 주의사항

주로 요소의 정성 분석에 사용됩니다.

에너지 분광계는 원자 번호 5보다 큰 원소를 분석할 수 있고, 분광계는 원자 번호 4부터 92까지의 모든 원소를 분석할 수 있습니다.

EDS 분석 방법에는 점 분석, 선 분석 및 표면 분석이 포함됩니다. 포인트의 모든 요소는 포인트 분석을 통해 얻어집니다. 라인 분석: 매번 지정된 라인에 대해 요소 분석을 수행하고 여러 번 스캔하여 모든 요소의 라인 분포를 얻습니다. 표면분석은 특정 표면의 모든 원소를 분석하며, 측정된 원소 함량은 측정 표면 범위의 평균값입니다. 미세 영역 분석을 위해 EDS에 의해 여기되는 부피는 약 10um3입니다.

EDS는 점, 선, 표면 형태를 스캔하고 대상 부분의 구성을 분석하기 위해 SEM과 함께 사용되는 경우가 많습니다.

검출 한계: 0.1%, 반정량 분석만 수행할 수 있으며 정확도는 일반적으로 1%~5%, 깊이는 일반적으로 1~5미크론입니다.

응용분야 및 분석사례