Co to jest spektrometr energii rentgenowskiej do analizy metalograficznej (EDS)

Zawartość ukryć

2 Punkty wymagające uwagi w analizie danych

Wsystem oringowy

Spektrometr energii EDS jest przyrządem do analizy elementów materiałowych, często łączonym ze skaningowym mikroskopem elektronowym lub transmisyjnym mikroskopem elektronowym. Bombarduje powierzchnię próbki wiązką elektronów w komorze próżniowej, aby wzbudzić materiał do emisji charakterystycznych promieni rentgenowskich. W zależności od długości fali charakterystycznych promieni rentgenowskich może jakościowo i półilościowo analizować pierwiastki BU w układzie okresowym pierwiastków. EDS może zapewnić analizę mikrojakościową lub półilościową elementów składowych na powierzchni próbki oraz analizę punktową, liniową i mapową określonych obszarów.

Punkty wymagające uwagi w analizie danych

stosowany głównie do analizy jakościowej pierwiastków;

spektrometr energii może analizować pierwiastki o liczbie atomowej większej niż 5, a spektrometr może analizować wszystkie pierwiastki o liczbie atomowej od 4 do 92;

Metody analizy EDS obejmują analizę punktową, analizę liniową i analizę powierzchni; Wszystkie elementy punktu uzyskuje się poprzez analizę punktową; Analiza liniowa: za każdym razem przeprowadzaj analizę elementów na określonej linii i skanuj wielokrotnie, aby uzyskać rozkład liniowy wszystkich elementów; Analiza powierzchni analizuje wszystkie elementy znajdujące się na określonej powierzchni, a mierzona zawartość pierwiastków jest średnią wartością zakresu powierzchni pomiarowej. objętość wzbudzona przez EDS do analizy mikroobszarowej wynosi około 10um3;

EDS jest często używany w połączeniu z SEM do skanowania morfologii punktów, linii i powierzchni oraz analizy składu części docelowej;

granica wykrywalności: 0,1%, można przeprowadzić tylko analizę półilościową, dokładność wynosi zazwyczaj 1% do 5%, a głębokość wynosi zazwyczaj 1 ~ 5 mikronów.

Obszary zastosowań i przypadki analityczne